1990
|
Impervious
Graphite 장치개발
|
-기계구조용 Carbon
Seal기능
-Hardness 향상 |
1992
|
Graphite표면에
SiC Coating처리기술
개발
|
-Graphite산화억제
-Hardness 향상
-Purity 향상 |
1995
|
SiC Coating Heater 개발
SiC Coating Susceptor 개발
|
-Graphite산화억제
-Hardness 향상
-Purity 향상
-High Temperature 실현 |
1998
|
SiC(Silicon Carbide) 개발
|
-Mechanical Structure Products
-Thermal/Semiconductor Hardware Parts etc 응용 |
1998
|
Mechanical seal 특허
|
-Chemical. Slurry유체에 대한 내구성 향상
|
1999
|
Carbon & Graphite Density향상기술개발
|
-산화억제
-Hardness 향상 |
1999
|
Ga As 증착 SiC
Coating Susceptor
개발
|
-CVD성능향상 |
2001
|
유기 EL Crucible,Boat 개발
|
-Thermal Uniformity 향상
|
2002
|
고온.고강도 Si3N4 Ceramic
Nozzle의
제조공정개발
|
-고강도 제품의 상용화
-탈황설비 Nozzle
-고온 화염 Tube, Nozzle |
2002
|
고강도 Carbon/Carbon
Composite함침
기술개발
|
-Hardness 향상
-High Temperature 실현 |
2003
|
내열.내식성이 우수한
고효율 복합재료
제조기술개발
|
-Hardness 향상
-내부식성 향상 |
