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연구실적

1990
Impervious Graphite 장치개발
-기계구조용 Carbon Seal기능
-Hardness 향상
1992
Graphite표면에 SiC Coating처리기술
개발
-Graphite산화억제
-Hardness 향상
-Purity 향상
1995
SiC Coating Heater 개발
SiC Coating Susceptor 개발
-Graphite산화억제
-Hardness 향상
-Purity 향상
-High Temperature 실현
1998
SiC(Silicon Carbide) 개발
-Mechanical Structure Products
-Thermal/Semiconductor Hardware   Parts etc 응용
1998
Mechanical seal 특허
-Chemical. Slurry유체에 대한 내구성   향상
1999
Carbon & Graphite Density향상기술개발
-산화억제
-Hardness 향상
1999
Ga As 증착 SiC Coating Susceptor
개발
-CVD성능향상
2001
유기 EL Crucible,Boat 개발
-Thermal Uniformity 향상
2002
고온.고강도 Si3N4 Ceramic Nozzle의
제조공정개발
-고강도 제품의 상용화
-탈황설비 Nozzle
-고온 화염 Tube, Nozzle
2002
고강도 Carbon/Carbon Composite함침
기술개발
-Hardness 향상
-High Temperature 실현
2003
내열.내식성이 우수한 고효율 복합재료
제조기술개발
-Hardness 향상
-내부식성 향상

 

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