| 발열을
목적으로 사용되는 모든 전기저항 Heating Element는 사용재료의 물리적,전기적,화학적특성에 따라 비저항값.
융점.산화점.기화점.불순물함유도등 각기 특성을 달리한다. Matal
Heating Element는 낮은 융점. 고온 부식성과 전류흐름의 불균일성에 의한 형상이탈 및 변이로
발열량과 발열균일성확보가 어려운반면,
SiC Heating Element는 비산화물 Ceramic으로서 2300 ˚C이상의 고온융점과 산화 부식에
강한 재질로서, 대기나 산화분위기에서도 1700 ˚C에서 안정적이며, 1300 ˚C이상 발열이 가능하다.
과거에 비교된 제품인 BN Heater는 Graphite표면에 비전도체인 BN을 처리함으로서 단자연결부위가
산화에 노출될 수밖에 없고, 또한 제품의 견고성에 문제점을 갖고있는 제품을 외국에서 고가로 수입하여 사용하였다.
하지만 현재에는 국내에서 SiC Solid Heater가 개발되어
품질적으로 비교우위를 확보하며, 경쟁력있는 공급가로 1000 ˚C이상의 고온과 산화,부식성,대기중에서 발열하는
진공,반도체공정에 발열체로 널리 공급되고있다.
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